光源，是影像测量仪测量过程非常关键的环节。好的光源可以精准测量出被测物体的各种数值有着举足轻重的作用
在影像测量仪中 ，主要的有以下三种照明方式：表面光照明、轮廓光照明和同轴光照明 。表面光与轮廓光照明方式较为普通，而同轴光照明对于某些特殊工件的测量有着至关重要的作用 。由怡信公司研发的自动影像测量仪除了表面光和轮廓光之外，加入了同轴光照明，可专门用于测量工件的孔深及盲孔深度，并且对测量反光和镜面工件，有非常独特的作用 ，对抓取基元的准确性有很强的辅助作用。
表面光照明 ：表面光照明一般采用环状或点状照明，与相机处于同侧。环行灯是一种常用的表面光照明方式，很容易安装在镜头上 ，可给漫反射表面提供足够的照明。表面光照明使用的是表面光源 。表面光源提供工件表面的普通照明，目前的应用趋势是使用环形的表面光源提供多个方向和入射角的表面照明 。
同轴光照明是与相机的轴向相同的方向的光照射到物体的表面。同轴光照明使用一种特殊的半反射镜面 ，将光线反射到相机的透镜轴方向。半反射镜面只让从物体表面反射并垂直于透镜的光线通过。同轴光源提供的这种照明技术对于实现扁平物体且有镜面特征的表面的均匀照明很有用。此外 ，此技术还可以实现使表面角度变化部分高亮 ，因为不垂直于相机镜头的表面反射光不会进入镜头，从而造成表面较暗 。
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